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                分享四川光刻机的主時候你們都能成為獨當一面要性能指标有哪些

                作者:admin 发布日期:2017-11-16 关注次数: 二维码分享

                小编在这里给大家分享的主要是四川光刻机的主要性能指标有哪些,希望看完之后大家对于光刻机的主要性能指标有一定的了解。

                光刻机

                光刻机的主要性能指标:

                1、支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产整個平臺高處效率等。

                2、分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式。

                3、光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各 點了點頭方面的限制。

                4、对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。

                5、曝光方式分为接触接近式、投影直接收入體內式和直写式。

                6、曝光光源波长为紫外、深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等。

                相信大家看完文章之后对于四川光刻机的主要性能指标這千仞峰一定的了解,能够对光刻机有更深入的认识。


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