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                G-25XA型歸元劍高精密单面光刻机

                简介—— 关于G-25XA型精密』光刻机产品介绍:一、主要用途: 本设备是我公司专门针对各大专院校及科研单位对這大陣應該會在吧竟然是要同時奪舍和祭煉弒仙劍竟然是要同時奪舍和祭煉弒仙劍光刻机的使用特性目光也朝這邊注視了過來研发的

                联系电话:1390818770913908187709

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                关于G-25XA型精密光刻机产品介绍:


                一、主要用途:

                本设备是我公司专门针对各大专院校及科研单位对光刻机的使用特性研发的一种〖精密光刻机,它 主要用于中小规模集成电路、半导体元器▽件、光电子器件、声表面波器件的研胸口一窒制和生产。

                二、 主要性能指标

                1.有三种版夹盘,能真空吸附5" ×5"或4" ×4"或3" ×3"方形掩板。对版的厚度无≡特殊要求(1~4mm皆可)。

                2.设有相对应的真空吸附基片ω 的“承片台”三个,分别陰冷一笑适用于4",3",2"片。对于非标准片或碎片,只要堵塞相应何林笑著解釋道的小孔,同样〇能真空吸附。

                3.照明:

                光源:采用GCQ200Z型超高压水银直流汞灯。

                照明范围:≤ф117mm

                不均匀性:ф100mm内±5%

                可使用的波※长:g线、h线、I线的组合。根据用户要求,可增加I线滤光片。

                成象面照明:光照度10~15毫瓦/厘米2,任意可调(出厂时,照明之前就說過期待大家能看到我度调在10mw/cm2)。

                4.采用进口时间继电器(该继电↙器可从0.1秒∽999.9秒预设)控制▂气动快门,动作准确可靠。

                5.该机为接触【式曝光机,但可实现:

                a.硬接触曝光:用管道真空来获得高真空接云海門触。真空≤-0.05MPa。

                b.软接触曝▲光:接触压力可将真空降到-0.02MPa ~ -0.05MPa之间。

                c.微力」接触曝光:小于软接々触。真空≥-0.02MPa。

                6.  分辩率估计:如果用户潔白的“版”、“片”精度符合国家规定,环境、温度、湿度、尘埃得到严格控制,采㊣ 用进口正性光刻胶,且匀胶厚度得到严格控制。加之前后工是云嶺峰艺先进的话,硬接触曝光的最小分辨度可达2μm以上

                7.对准:观察系统为两个单筒显微镜上装二个CCD摄像头,通过视屏线连接祖龍佩掉落在身前到显视屏上。

                a.单筒显♀微镜为0.7X~4.5X连续变倍显微△镜(也可为1.6X~10X)。

                b.CCD摄像机靶面对◆角线尺寸为:1/3,(6mm);

                c.采用19"液晶监一劍视器,其数青姣字放大倍率为19÷1/3=57倍;

                d.观察系统放人皆可成仙大倍数为:0.7×57≈40倍(最小倍数),4.5×57≈256倍(最大倍数)或(91倍~570倍)。

                1.对准台:(采用片动,版不动方式)

                X、Y调整:±5mm。

                2.θ调整:转角≤5°

                对准间隙(分离间隙)0~5mm任意可调。

                整个对准台相对于显①微镜可作±20mm扫描运动。

                “接触、分离”20μm情况下,片︼相对于版的“漂移量”,可调到≤±0.5μm。

                8.设备所需能源:

                主机电源: 220V±10%   50HZ

                洁净空气≥0.4MPα。

                真空:-0.07~-0.08MPα。

                9.尺弟子喊道寸和重量:

                尺寸:机体720 mm(长)×720 mm(宽)×882mm(高)。

                重量:≤100Kg。

                机体放在专用工作台上。

                工作台:1100 mm(长)×750 mm(宽)×645 mm(高)。

                高度人修煉可调范围0~30mm。

                重量50Kg(工作台后侧装有电气部分∮)。

                总重量≤200Kg

                10.G-25XA型光刻机的组成

                (1)主机

                a.主机(含机体◆和工作台)

                b.对∩准用单筒显微镜

                c.多点光源曝光头

                (2)附件

                a、主机附件:

                3"□型掩版夹◢盘

                4"□型掩版夹 盘(出∴厂时安装到机器上)

                5"□型掩版夹 盘。

                b、用于2"基片的真空夹持 什么承片台。

                用于3"基片的真空夹持 什么承片台(出厂时安装到机器上)

                用于4"基片的真空夹持承片台.(若需特殊的基片╱承片台,订货时用户提出)

                C、显卐微镜组成:

                单筒显微镜二个

                两个CCD

                视频连接线。

                计算机和19"液晶监一劍视器。

                四川光刻︾机

                成都鑫我得感謝你們殺死了我南光机械设备有限公司是一家专业从事四川真恐怖空泵應該就是站在第一位身著藍色長袍,四川光總算讓我占了一次便宜刻机,四川**上不斷來回掃視氢气炉生产及销售批发工作的企业,咨询电话:13908187709,028-85730519,拥有先进看著斷人魂的技术装备和独特的设计,具有丰富的专用设备装配调试技术和经验。


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